ENGINEERING CERAMICS Inc. (EC ©™) รายงาน:
ECการป้อนสูญญากาศ- สรุปทางเทคนิค
EC เชี่ยวชาญในการป้อนอาหารสูญญากาศที่มีประสิทธิภาพสูงเช่น:
✔ฉนวนเซรามิกสำหรับฉนวนแรงดันสูงพิเศษ (al₂o₃/Aln)
✔เทคโนโลยีการประสานสูญญากาศ (อัตราการรั่วไหล <10⁻⁹ MBAR · L/S)
✔การปิดผนึกสุญญากาศสำหรับปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ/ปั๊มไอออน (เข้ากันได้กับ UHV/XHV)
✔การกำหนดค่าที่กำหนดเองสำหรับแอพพลิเคชั่นเซมิคอนดักเตอร์การบินและอวกาศและการวิจัย
ตารางที่ 1: การจำแนกประเภทตามหลักการปฏิบัติการ
|
ชนิด |
ทฤษฎีการดำเนินงาน |
สูญญากาศสุดท้าย (PA) |
คุณสมบัติหลัก |
การใช้งานหลัก |
|
ปั๊มใบพัดหมุน |
การเปลี่ยนผ่านด้วยรถตู้หมุน |
1E-1 ~ 1E2 |
ประเภทซีลน้ำมันต้องบำรุงรักษา |
Foreline/Back Pump |
|
ปั๊มเลื่อนแห้ง |
การบีบอัดก๊าซโดยเกลียววงโคจร |
1E-2 ~ 1E1 |
การสั่นสะเทือนที่ปราศจากน้ำมันและต่ำ |
อุปกรณ์ห้องปฏิบัติการ |
|
Roots Blower |
การขนส่งก๊าซโดยใช้กลีบหมุนเคาน์เตอร์ |
1E-1 ~ 1E3 |
ปริมาณงานสูงมักจะหลายชั้น |
ระบบสูญญากาศอุตสาหกรรม |
|
ปั๊มกระจายน้ำมัน |
ถ่ายโอนโดยไอน้ำเจ็ทโมเมนตัม |
1E-7 ~ 1E-4 |
ไม่จำเป็นต้องมีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวต้องกับดักเย็น |
การสะสม E-beam |
|
ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ |
โรเตอร์ความเร็วสูง (> 60k rpm) ชนกับโมเลกุล |
1E-9 ~ 1E-6 |
ความสะอาดมีความไวต่อการสั่นสะเทือน |
เครื่องวิทยาศาสตร์ UHV |
|
ปั๊มแช่แข็ง |
การควบแน่นของก๊าซบนพื้นผิว <20k |
<1e-10 |
จำเป็นต้องมีสูญญากาศสูงสุดและการฟื้นฟูปกติ |
การจำลองสภาพแวดล้อมของอวกาศ |
ตารางที่ 2: การจำแนกตามระดับสูญญากาศ
|
ช่วงสูญญากาศ |
ความดัน (PA) |
ประเภทปั๊มที่ดีที่สุด |
ข้อควรพิจารณาทางเทคนิค |
|
สุญญากาศหยาบ |
1E5 ~ 1E2 |
ใบพัดโรตารี่ไดอะแฟรม |
การรองรับแรงดันสูงด้วยแก๊สบัลลาสต์ |
|
สูญญากาศต่ำ |
1E2 ~ 1E-1 |
ราก + ใบพัดโรตารี่ |
ความเร็วเทียบกับประสิทธิภาพการใช้พลังงาน |
|
สุญญากาศสูง |
1E-1 ~ 1E-7 |
การแพร่กระจาย |
การป้องกัน backstream |
|
สูญญากาศสูงเป็นพิเศษ (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
ไอออนแช่แข็ง |
การเลือกวัสดุเป็นสิ่งสำคัญ |
|
สูญญากาศสูงมาก |
<1e-10 |
ระบบลูกผสมไอออน |
สภาพแวดล้อมระดับควอนตัม |
เกณฑ์การเลือกที่สำคัญ
1. ระดับสูญญากาศสุดท้าย
ระดับสูญญากาศที่ต้องการจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการ ตัวอย่างเช่น:
- ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จะต้องใช้ระดับสูญญากาศต่ำกว่า10⁻⁶ PA
- ในกระบวนการอุตสาหกรรมสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในช่วง10⁻⁻ถึง10² Pa
2. ความเร็วในการสูบน้ำ
วัดเป็นลิตรต่อวินาที (L/s) หรือลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง (m³/h)
เลือกขนาดที่เหมาะสมสำหรับความจุในห้องและภาระก๊าซของคุณ
แอปพลิเคชั่นความเร็วสูง (เช่นเตาเผาสุญญากาศ) อาจต้องใช้ 1,000+ m³/h
3. ความเข้ากันได้ของก๊าซและเคมี
- การใช้มาตรฐาน: วัสดุมาตรฐาน (สแตนเลส, อลูมิเนียม)
- สภาพแวดล้อมการกัดกร่อน: จำเป็นต้องใช้วัสดุพิเศษเช่น:
- ชิ้นส่วนเคลือบ PTFE (สำหรับทนกรด)
- Hastelloy หรือ Nickel Alloy (สำหรับสารเคมีที่ทรงพลังเช่นคลอรีน)
4. ประสิทธิภาพการใช้พลังงานและการบำรุงรักษา
- ปั๊มซีลน้ำมัน:
- ต้นทุนเริ่มต้นต่ำ
- จำเป็นต้องมีการเปลี่ยนแปลงน้ำมันปกติ (ทุก 2,000 ถึง 4,000 ชั่วโมง)
- ความเสี่ยงของการปนเปื้อนของน้ำมันผ่านกระบวนการที่ละเอียดอ่อน
- ปั๊มแห้ง (ปลอดน้ำมัน):
- การลงทุนเริ่มต้นสูง
- ไม่จำเป็นต้องมีการบำรุงรักษา (ไม่เปลี่ยนน้ำมัน)
- แนะนำสำหรับกระบวนการที่สะอาด (เช่นยา, อาหาร)
คำศัพท์หลักที่กล่าวถึงในข้อความนี้มีดังนี้:
1. ซีลสูญญากาศ - ซีลสูญญากาศเทคโนโลยีการปิดผนึกสูญญากาศนิ้วและการป้อนสูญญากาศนั้นมีประสิทธิภาพ (การเชื่อมต่อการปิดผนึก)
2. ผ่านส่วน (かんつうぶ)-ผ่านส่วนผ่านโดยทั่วไปหมายถึงชิ้นส่วนที่ผ่านผนังหรือพาร์ติชันและบางครั้งใช้เพื่ออธิบายโครงสร้างที่คล้ายกับสูญญากาศ
3. Furanzi - หน้าแปลนที่ใช้กันทั่วไปในส่วนประกอบการเชื่อมต่อระบบสูญญากาศฮาร์ดแวร์ที่เกี่ยวข้องกับสูญญากาศอาจเกี่ยวข้องกับคำนี้
4. ตัวเชื่อมต่อสูญญากาศ - ขั้วต่อสูญญากาศ, ขั้วต่อสูญญากาศใต้อากาศและความสามารถในการเข้าถึง Feedthrough
5. การแทรกซึมของฉนวน - ความสามารถในการดำเนินการในระหว่างการป้อนสุญญากาศ
คำเหล่านี้ไม่เทียบเท่ากับ "การป้อนสุญญากาศ" แต่อาจใช้เป็นการประมาณหรือคำที่เกี่ยวข้องภายใต้สถานการณ์บางอย่าง ภาษาใดที่จะใช้ขึ้นอยู่กับรายละเอียดทางเทคนิคและบรรทัดฐานของอุตสาหกรรมดังนั้นขอแนะนำให้คุณอ้างถึงวรรณกรรมผู้เชี่ยวชาญที่เกี่ยวข้องหรือปรึกษาผู้เชี่ยวชาญเพื่อให้แน่ใจว่ามีความแม่นยำ
คำแถลง: บทความ/ข่าว/วิดีโอมาจากอินเทอร์เน็ตหรือทำโดยซอฟต์แวร์ AI เว็บไซต์ของเราพิมพ์ซ้ำเพื่อจุดประสงค์ในการแบ่งปัน ลิขสิทธิ์ของบทความ/ข่าว/วิดีโอที่พิมพ์ซ้ำเป็นของผู้เขียนต้นฉบับหรือบัญชีอย่างเป็นทางการดั้งเดิม หากมีการละเมิดใด ๆ ที่เกี่ยวข้องโปรดแจ้งให้เราทราบในเวลาและเราจะตรวจสอบและลบ
