รายงานวิศวกรรมเซรามิก, (EC ©™) รายงาน:
EC Vacuum Feedthroughs - ภาพรวมทางเทคนิค
EC เชี่ยวชาญในการป้อนอาหารที่มีประสิทธิภาพสูงที่มี:
✔ ฉนวนเซรามิก(al₂o₃/Aln) สำหรับการแยกแรงดันไฟฟ้าสูงเป็นพิเศษ
✔เทคโนโลยีการประสานสูญญากาศ (อัตราการรั่วไหล <10⁻⁹ MBAR · L/S)
✔การปิดผนึก Hermetic สำหรับปั๊ม turbomolecular/ion (เข้ากันได้กับ UHV/XHV)
✔การกำหนดค่าที่กำหนดเองสำหรับแอพพลิเคชั่นเซมิคอนดักเตอร์การบินและอวกาศและการวิจัย
ตารางที่ 1: การจำแนกตามหลักการทำงาน
ตารางที่ 2: การจำแนกตามระดับสูญญากาศ
เกณฑ์การเลือกที่สำคัญ
1. ระดับสูญญากาศต่อเนื่อง
ระดับสูญญากาศที่ต้องการควรสอดคล้องกับข้อกำหนดของกระบวนการ ตัวอย่างเช่น:การผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยทั่วไปต้องใช้ระดับสูญญากาศต่ำกว่า10⁻⁶ PA กระบวนการอุตสาหกรรมอาจทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในช่วง10⁻⁻ถึง10² PA
2. ความเร็วในการปั๊ม
วัดในลิตรต่อวินาที(l/s) หรือลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง(m³/h) จะต้องมีขนาดอย่างเหมาะสมสำหรับปริมาณห้องและโหลดก๊าซการใช้งานปริมาณข้อมูลสูง (เช่นเตาเผาสุญญากาศ) อาจต้องใช้ 1,000+ m³/h
3. ความเข้ากันได้ของ GAS และเคมี
●แอปพลิเคชันมาตรฐาน:วัสดุมาตรฐาน (สแตนเลส, อลูมิเนียม)
●สภาพแวดล้อมที่กัดกร่อน:ต้องใช้วัสดุพิเศษเช่น:
●ส่วนประกอบที่เคลือบด้วย PTFE (สำหรับความต้านทานกรด)
● Hastelloy หรือโลหะผสมนิกเกิล (สำหรับเคมีที่ก้าวร้าวเช่นคลอรีน)
4. ประสิทธิภาพและการบำรุงรักษาพลังงาน
ปั๊มปิดผนึกน้ำมัน:
●ลดต้นทุนเริ่มต้น
●ต้องการการเปลี่ยนแปลงน้ำมันเป็นประจำ (ทุก 2,000–4,000 ชั่วโมง)
●ความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนของน้ำมันในกระบวนการที่ละเอียดอ่อน
ปั๊มแห้ง (ปลอดน้ำมัน):
●การลงทุนเริ่มต้นที่สูงขึ้น
●การดำเนินการบำรุงรักษา (ไม่มีการเปลี่ยนแปลงน้ำมัน)
●ต้องการกระบวนการที่สะอาด (เช่นยาอาหาร) อาหาร)
คำแถลง: บทความ/ข่าว/วิดีโอมาจากอินเทอร์เน็ต เว็บไซต์ของเราพิมพ์ซ้ำเพื่อจุดประสงค์ในการแบ่งปัน ลิขสิทธิ์ของบทความ/ข่าว/วิดีโอที่พิมพ์ซ้ำเป็นของผู้เขียนต้นฉบับหรือบัญชีอย่างเป็นทางการดั้งเดิม หากมีการละเมิดใด ๆ ที่เกี่ยวข้องโปรดแจ้งให้เราทราบในเวลาและเราจะตรวจสอบและลบ
