รายงานวิศวกรรมเซรามิก, (EC ©™) รายงาน:
อัลดี้ (การสะสมของชั้นอะตอม) แบบบูรณาการ Bubbler เป็นส่วนประกอบของคีย์คอนเทนเนอร์ซึ่งใช้ในการเก็บวัสดุสารตั้งต้นในกระบวนการสะสมชั้นอะตอมมันสามารถช่วยให้ไอสารตั้งต้นในการไหลของก๊าซบัฟเฟอร์ ไม่เพียง แต่สำหรับ ALD เท่านั้นยังใช้สำหรับการสะสมไอสารเคมี (CVD), การสะสมไอสารเคมีอินทรีย์โลหะ (MOCVD)
ในสัปดาห์ที่ 28 มีการจัดส่ง ECอิเล็กโทรดปลั๊กเครื่องดูดฝุ่นที่กำหนดเองสำหรับระบบการส่งไอของเหลว ALD (การสะสมของชั้นอะตอม).
แอปพลิเคชัน
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์:
ในการผลิตชิปเพื่อเพิ่มชั้นฉนวนประตูคุณภาพสูง (เช่นฟิล์มอิเล็กทริกสูง) ชั้นเชื่อมต่อระหว่างโลหะและโครงสร้างฟิล์มอื่น ๆอัลดี้ขวดแหล่งที่มามีสารตั้งต้นที่สอดคล้องกันเพื่อให้แน่ใจว่าการสะสมของชั้นอะตอมที่แม่นยำซึ่งมีบทบาทสำคัญในการปรับปรุงประสิทธิภาพของชิปและลดการใช้พลังงาน
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS):
พวกเขาใช้ในการเตรียมฟิล์มต่าง ๆ ในอุปกรณ์ MEMS เช่นฟิล์มที่ละเอียดอ่อนของเซ็นเซอร์และฟิล์มที่ใช้งานได้บนพื้นผิวของโครงสร้างเชิงกลขนาดเล็กซึ่งช่วยปรับปรุงความไวความเสถียรและตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพอื่น ๆ ของอุปกรณ์ MEMS เกี่ยวกับแสง
ฟิลด์สารเคลือบ:
พวกเขาสามารถจัดเก็บสารตั้งต้นที่ใช้ในการฝากฟิล์มออปติคัล (เช่นภาพยนตร์ต่อต้านแสงสะท้อนภาพยนตร์สะท้อนแสง ฯลฯ ) ผ่านกระบวนการ ALD ภาพยนตร์ที่ตรงกับข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของแสงสามารถเติบโตได้อย่างแม่นยำบนพื้นผิวเช่นเลนส์ออพติคอลและหน้าจอแสดงผลเพื่อปรับปรุงการส่งผ่านการสะท้อนแสงและลักษณะทางแสงอื่น ๆ ของผลิตภัณฑ์ออพติคอล
คำแถลง: บทความ/ข่าว/วิดีโอมาจากอินเทอร์เน็ต เว็บไซต์ของเราพิมพ์ซ้ำเพื่อจุดประสงค์ในการแบ่งปัน ลิขสิทธิ์ของบทความ/ข่าว/วิดีโอที่พิมพ์ซ้ำเป็นของผู้เขียนต้นฉบับหรือบัญชีอย่างเป็นทางการดั้งเดิม หากมีการละเมิดใด ๆ ที่เกี่ยวข้องโปรดแจ้งให้เราทราบในเวลาและเราจะตรวจสอบและลบ
